各种伺服执行器

支持所有DD电机、直线电机、直线滑块

标准配备5种指令形态
·模拟量电压、脉冲序列指令型
·装备INDEXER功能型
·MECHATROlink-Ⅱ通信指令型
·装备DeviceNet通信功能型
·MECHATROlink-Ⅲ通信指令型

备有各种通信接口、各种反馈用选配模块
标配产品符合安全标准
伺服单元主体符合国际标准IEC61800-5-2规定的STO功能。[日本同行业首创（2007年3月）]与安全模块组合使用时，符合国际标准IEC61800-5-2规定的STO功能、SS1功能、SS2功能、SLS功能。[日本同行业首创（2010年5月21日）]

装备符合SEMI“F47”标准的功能（使用三相AC200V时）
轻松适用于半导体、液晶制造装置

备有多种电机产品，可满足广泛的市场需求和各种用途

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